论文摘要：鉴于磁弹性运用的TbFe基地膜接洽与AFM探针上吊挠度领会

连年来，TbFe基超磁致舒卷合金地膜动作一种极有兴盛出息的功效地膜资料遭到各产业昌盛国度的关心。这类资料可将电磁能变换成板滞能或声能，是要害的能量与消息变换功效资料。它在微型阀、微电门等MEMS体例以及鼓励器、传感器等微型器件中有着宏大的运用远景。正文采用直径64 mm的Tb、Fe、Co单质靶和FeCoV（1J22）复合靶，沿用磁控共溅射法在单晶Si片上堆积TbFeCoV、TbFe、TbCo单层膜和TbFeCoV/Fe多层膜。沿用X射线衍射仪、磁力显微镜、振荡样本磁强计等本领表征、丈量样本的构造和本能。贯串试验截止，创造鉴于磁致舒卷效力的悬臂梁模子，沿用能量最小法对悬臂梁挠度举行计划，并对本质的AFM探针数据举行领会。接洽截止将为低场磁致舒卷本能的进一步普及和尝试体例的优化安排供给按照。在舆论的第一局部，接洽了Tbx(FeCoV)100-x系列地膜在各别制备前提（溅射气压、功率、基片温度）下的微观构造和磁本能。试验创造，当x=23（积累点），地膜的饱和磁化强度为零，矫顽力散发；x=40时，其饱和磁化强度展示最大值；在23