论文摘要：进步双极型功率器件创造的要害本领接洽

本课题是对13007系列高压双极型功率器件的创造工艺做了接洽，领会了暂时重要的几种创造高压双极型功率器件的工艺本领。接洽后创造，保守工艺下创造的芯片有着及格率较低的题目，主假如器件的少许要害参数不对格的截止，囊括反向击穿电压低，反向泄电流大，值不平均，以及饱和压降大。对准之上题目，对每道岁序举行领会后，找到了感化那些参数的要害岁序有基区分散、外表钝化以及背后非金属化。接下来提出应用新的工艺：硼乳胶源基区分散、PI-SiO2双层介质外表钝化和Ti-Ni-Ag多层介质背后非金属化来代替或矫正保守工艺：BN平面片状源分散、简单介质外表钝化和简单介质背后非金属化。正文重要对准了前两个上面举行了接洽。除去从表面上领会了新工艺比拟于保守工艺的上风除外，为了考证新工艺在本质应用傍边的可行性，还举行了洪量的试验。将那些新的工艺应用于13007系列的高压双极型功率器件中，并处置了新工艺在应用进程中的要害本领题目。结果经过对试验截止和数据的领会，证明比拟于保守工艺，沿用新的工艺后的13007功率器件有着耐压高，反向泄电流小，小交流电高，饱和压贬低的特性。