论文纲要：量子阱n-SiGe/p-BC多层膜热电个性接洽

热电资料是一种可集火力发电与制冷两种功效于一身的新式功效资料，仍旧变成二十一生纪新式功效资料接洽范围的热门。连年来，人们对热电资料的接洽中心重要放在提高测量资料热电本能的无穷纲热电优值系数ZT=Tσα2/κ以及提高时差火力发电器件的热电变换功效上。自半半导体物道学接洽变成热门之后，被创造的资料的热电优值从来保护在1安排。自上世纪90岁月后期，跟着低维数资料的兴盛，ZT值冲破樊篱，最高到达了4。本舆论概括了热电效力的表面普通，时差火力发电器的基础道理与运用，并举行了对热电资料的的兴盛汗青，兴盛近况及兴盛趋向的归纳性阐明，为热电资料的接洽起到确定的引导性效率。其余，正文对准怎样普及热电资料的优值系数及热电变化功效举行了领会，沿用一种面向航天探测器同位素核燃料干电池运用的n-SiGe/p-BC多层膜构造的地膜热电资料，并从表面观点领会量子阱构造经过声子牵制效力效率体制对资料热电本能的提高。在表面普通上，正文安排试验，运用直流电、单级脉冲磁控溅射法治备p-BC膜层样本，接洽衬底荡涤工艺，衬底温度，等参数对样本微观构造，外表形貌，电学本能及热电本能的感化，优化学工业艺参数，在处事气压为0.4 Pa、靶基距为10 cm，衬底温度500 ℃，功率密度1.83 W/cm2前提下获得有崇高导热本能的地膜构造P型B4C/B9C单层地膜样本及量子阱多层膜构造样本。