舆论摘要：稀土合金热化学抛光CVD金刚石膜的接洽

化学气相堆积(CVD)金刚石膜是具备崇高的力学、电学、热学和化学宁静本能于一体的料料，在很多产业范围具备格外宏大的运用远景。金刚石是天然界最硬的资料，所以后续加工比拟因难。保守的板滞抛光法常常功效极低，仍旧没辙满意CVD金刚石膜的财产化需要。所以，探求和探究新的金刚石抛光本领既是金刚石地膜运用进程中须要处置的题目，也是夸大金刚石地膜运用的最要害本领之一。本接洽中提出了在稀土中增添其余元素制备出热化学抛光非金属，进而赢得低温高效抛光金刚石膜的新本领。并就热化学抛光工艺、抛光机理、抛光能源学以及热化学抛光对金刚石外表构造感化等上面打开了体例和深刻的接洽。非金属Ce抛光工艺的接洽截止表白：非金属单质Ce热化学抛光金刚石膜所须要的温度较高，800℃之上Ce才与金刚石膜爆发较鲜明的效率，920℃时本领在短功夫内（4h）赢得较好的抛光功效。低熔点稀土合金的抛光工艺的接洽表白：在稀土非金属Ce增添非金属Cu，Al等，固然不妨赢得熔点较低的合金，但该低熔点合金必需在其熔点之上较高温度（200℃）本领与金刚石膜爆发效率，因高温下非金属居于实足熔融状况震动性较强形成外表非平均刻蚀，以是抛光功效并不理念。 经过在稀土Ce中增添Mn，Fe等高溶碳性非金属元素而制备出的相映热化学抛光合金，能在较低的温度下与金刚石膜爆发较高功效的刻蚀效率，个中Ce-Mn合金于620℃可与金刚石膜爆发鲜明的效率，而铈铁合金与金刚石膜效率的开始温度为592℃。优化学工业艺参数，创造Ce-3%Mn（亚原子比）为铈锰合金的最好构成，经该合金650℃，2h抛光后的金刚石膜粗度Ra值从抛光前的15.95μm 降为3.68μm；而Ce-7%Fe（亚原子比）为铈铁合金的最好构成，经该合金680℃，3h抛光后不妨赢得十分晶莹的金刚石膜外表（Ra为0.69μm）。在之上抛光进程中合金都居于半固态且液相含量低，合金基天性维持原始样式，所以具备加工搀杂形势金刚石膜的后劲。抛光后的金刚石外表没有创造任何非碳元素，拉曼光谱领会表白抛光后的金刚石外表无石墨或非晶态元素，所以热化学抛光不会传染金刚石外表。XRD取向领会创造了经抛光后金刚石膜外表{110}目标取向度较抛光前增高这一局面，EBSD的领会截止考证了举行金刚石膜取向度的变换是因热化学抛光而惹起的。贯串SEM 截止和金刚石各别晶面解理能的比拟领会，得出了选择优秀者刻蚀是热化学抛光引导金刚石膜外表取向度增高的因为这一论断。Ce-7%Fe合金刻蚀金刚石具备晶面选择优秀者性的特性，所以该本领在高选择优秀者取向金刚石膜制备范围具备潜伏的运用价格。