行业论文：新式硅微谐振式加速率计的构造个性领会及优化安排

硅微谐振加速率传感器是新式高精度的微型计算机电体例传感器，因为具备频次旗号输入，精度高，抗干预本领强和构造精致等诸多便宜而遭到越来越普遍的关心。 正文采用双端恒定音叉动作谐振器，安排了一种硅微谐振式加速率计。其输入频次旗号不妨克复微型计算机电体例器件输入微漠旗号检验和测定的艰巨。在加速率效率下，品质块的弹性力经过杠杆夸大组织强加于音叉轴向，运用音叉谐振频次的变革丈量加速率。在每个音叉臂上创造了梳齿构造，用梳齿间的静风力鼓励音叉爆发谐振，并运用其形成的库容检验和测定其振荡频次。该加速率计沿用体硅工艺创造，安排中除去运用保守的建立模型与领会的本领外，还运用了有限元领会软硬件举行了洪量扶助领会，对传感器的处事情景举行了仿真。经过模仿和计划，预先预算出谐振器固有频次，应力散布情景以及传感器的基础本能参数，获得音叉臂梁尺寸的最好取值范畴为：长度应在400 ~ 700 之间，梁振荡目标的宽窄应在3.5 ~ 8 之间，启动电压应在 之间。那些计划截止是检验和测定通路参数采用的径直按照。过程有限元仿真获得四组优化安排参数，并对于各别的外部加速率举行了传感器的完全模仿，不妨好像预算出传感器的精巧度约为4Hz/g。构造安排将保守的杠杆夸大组织与细颈构造举行贯串，贬低结束构的委曲刚度，进而处置了应力低耗费传输的题目，过程有限元仿真获得，细颈构造在15 和20 时模仿搭钮的功效最佳。 传感器暂时在加工傍边，正文给出了安排的尝试计划，旗号处置、检验和测定将在后续的处事中实行。要害词：谐振，加速率传感器，双端恒定音叉，有限元，检验和测定