论文摘要：谐振式硅微板滞陀螺安排及仿真

径直输入频次的微板滞陀螺是现在国际上接洽的一个新目标。美利坚合众国加州大学伯克利分校于2002年运用外表硅工艺做出了试验样件，其精巧度到达0.042Hz/(deg/sec)。随后，海内重要由东南京大学学做了少许定性的仿真处事。本舆论以静电激振、库容拾振的谐振凋零板滞陀螺为接洽东西，以高精巧度和高自解耦个性为重要安排目的，对其构造和尺寸参数举行了优化安排。采用了规范SOG(silicon-on-glass)体硅工艺做出了相映的加工幅员。 舆论重要囊括以次实质： 以高精巧度为安排目的，给出了具备单品质块的高精巧度陀螺的安排计划，并对准杠杆夸大组织、维持梁、双端固支音叉（DETF）等举行结束构优化与仿真。最后获得传感器的精巧度为0.5447Hz/(deg/sec)；自解耦上面，启动方进取DETF由品质块振荡所惹起的振幅为品质块振幅的1.16E-4倍；陀螺的线性度为6.41×10-7。 以高自解耦个性为安排目的，给出了具备框架构造的高解耦个性陀螺的安排计划，并对准杠杆与内品质块贯穿处情势、杠杆夸大组织、DETF等举行结束构优化与仿真。最后获得传感器的精巧度为0.495Hz/(deg/sec)；自解耦上面，启动方进取DETF由品质块振荡所惹起的振幅为品质块振幅的3.01E-6倍；陀螺的线性度为5.3×10-7。 比较现有公开拓表的文件，正文在谐振凋零陀螺的安排计划和表面领会上面做出了更为深刻精致的处事。