论文摘要：纳米光栅加速率计要害器件接洽

跟着军事的兴盛，对波及到的弹性器件的精度诉求越来越高。更加是对高精度的陀螺和加速率计的诉求越来越高。高精度的MOMES加速率计是加速率计的兴盛目标，其完备体积小、品质轻、精度高档便宜。正文接洽的纳米光栅加速率计是MOMES加速率计的一种。它用纳米加工本领加工出光栅敏锐元件，用近场光学本领丈量纳米级位移，结果经过丈量衍射、曲射光强度的变革来丈量加速率。从海外的接洽情景来看，以纳米光栅为中心器件的加速率计的极限精巧度不妨到达10－9g，与同种典型的加速率计比拟较，其精巧度不妨普及2个数目级，以是不妨满意宇航航天和军事范围对高本能本领目标的诉求。除具备保守加速率计的便宜外，还具备抗高报复，抗电磁干预的特性。所以纳米光栅加速率计具备很高的接洽和适用价格。对于进一步普及加速率计的精巧度和本能、开拓出新一代新式加速率计具备格外要害的接洽意旨和运用远景。正文环绕着纳米光栅的要害本领举行了体例深刻的接洽，开始接洽了这种可变纳米光栅的构造，中心举行了纳米光栅光学表面接洽、以及传感局部的仿真优化接洽。并举行了工艺试验。重要的接洽实质和所博得的功效可归结如次：1、运用庄重啮合波表面(RCWA)和边境前提联系对光栅的光学本能举行领会，用矢量衍射表面对光栅的衍射个性举行了领会；2、运用傅立叶领会对光栅的介电常数举行打开，求出介电常数的打开表白式与光栅栅脊、栅槽反射率的联系；3、求出了入射角、入射光带长、光栅栅距、介质反射率与矩形光栅衍射级次间的联系，计划出衍射、曲射波振幅与相映的光栅栅距、射程等量的联系；4、在上述表面的普通上提出了鉴于低阶算法和泰勒级数的矫正公式的算法，大大贬低了计划功夫，普及计划速率；5、用Rsoft软硬件对光栅的构造举行了优化仿真，最后决定了光栅的构造参数；从精巧度和固有频次两上面领会优化加速率计传感局部的板滞构造：弹性梁、品质块。决定其构造参数，并最后决定传感局部的构造；6、结果对纳米光栅的加工工艺举行了接洽和试验，并运用聚焦离子束本领发端加工出纳米级构造的光栅。