论文摘要：条纹构造对软磁地膜及复合构造颗粒膜磁本能的感化

条纹构造对软磁地膜及复合构造颗粒膜磁本能的感化摘 要巨磁电阻效力的创造，在凝固态物道学、资料科学等范围惹起了划期间的振动。而纳米颗粒膜因其制备大略、高信噪比等便宜，惹起了普遍关心。暂时，高性价比的节约能源型磁传感器的研制急迫须要贬低纳米颗粒膜的饱和磁场，进而普及其磁场精巧度。在本舆论接洽中，对准暂时纳米颗粒膜因为高的饱和磁化场，没辙获得本质运用这一要害题目，鉴于资料的复合化的兴盛趋向，举行了试验接洽。运用软磁地膜与纳米颗粒地膜的磁啮合效力，将具备高饱和磁化强度的软磁地膜与纳米颗粒膜以条状情势瓜代陈设的复合构造，普及纳米颗粒地膜的地道磁电阻效力在低磁场下的磁场相应，以满意对磁传感器件日益延长的袖珍化、轻量化、适用化的需要。本文华用磁控溅射本领，开始在本征（100）Si和LiAlSi 微晶两种基片上，堆积FeNi和FeCo软磁地膜，沿用光刻工艺刻蚀出准则的条纹形势，从而经过各别前提的真空热处置及磁场热处置革新磁本能，鉴于上述试验截止沿用共溅射堆积方法治备复合构造膜。经过各别的光刻前提，赢得了最好光刻工艺。从而在软磁地膜上获得明显、平坦的条纹状构造。而且，跟着条纹宽窄与条纹间隙比的增大，创造光刻工艺对软磁地膜矫顽力的感化渐渐减小。对准具备条纹构造的软磁地膜举行真空热处置后的截止表白，因为地膜剩余内应力大大贬低、晶粒长大，而且结晶度减少，地膜的软磁本能在确定水平上有所普及。在此普通上，接洽了附加磁场对热处置效力的感化顺序。截止表白，地膜内产生了磁各向异性，与条纹平行目标的矫顽力小于笔直目标的矫顽力。而且，矫顽力随热处置附加磁场强度增大而减少。其余，还创造对于各别基片赢得各别的磁场热处置功效。沿用硅基片时，FeNi地膜的磁化强度随磁场强度减少而减少；沿用微晶基片时，FeNi地膜的饱和磁化强度先增大后减小，在200Oe展示最大值。各别前提下制备的复合构造膜的电阻伴随依附加磁场强度减少而减小。另一上面，在低磁场下赢得了较高相应的磁电阻效力，当磁场强度为20Oe时，FeCo-(NiFe-Ag)复合构造膜磁电阻率为1.1%。而对FeNi-(NiFe-Ag)复合构造膜构造，在400Oe的磁场下没有检验和测定出磁阻效力。这是因为条纹状FeCo地膜中的强磁通对NiFe-Ag颗粒膜爆发了附加磁场，进而普及了其磁场精巧度所致。而NiFe的饱和磁化强度远小于FeCo的饱和磁化强度，以致沟槽中的磁场强度较小，不许供给一个能使NiFe-Ag颗粒膜充溢磁化的强磁场合致。