论文摘要：串联两杆构造的XY处事台领会与遏制

高本能疏通处事台（组织）是形成新颖集成通路IC（Intergrated Circuit）创造和封装摆设的中心元件。接洽和兴盛高本能处事台是IC创造业兴盛所面对的要害题目。曲线电机径直启动本领与串联组织都是前一段功夫接洽的热门题目，在小路途但须要高加速率、高刚度、高频相应的场所，二者的贯串是一个不错的采用。本舆论创造了曲线电机启动的串联XY处事台的磁体模子和柔性化模子。从磁体模子的领会，对处事台各局部之间的疏通学联系、磁体能源学联系、处事空间以及线性化缺点举行了领会和计划，并得出论断，该接洽东西线性化缺点过大，不符合线性化。处事台柔性化模子的创造沿用了“宽频多模态复合疏通建立模型本领”，将处事台简化为一种具备绷簧—阻尼柔性联接、多个绷簧—阻尼支承特性的物理模子，从而将物理模子变化为了鉴于微分方程的数学模子，进而不妨对体例在宽频范畴内由主疏通和多个附加微振荡产生的多模态复合疏通举行刻画和建立模型。并在MATLAB/SIMULINK情况中创造了对应数学模子的仿真模子。本舆论领会了处事台的表面缺点和柔性杆带来的缺点感化，并沿用积累战略对柔性杆带来的缺点举行了确定的控制。对于处事台的遏制沿用了典范PID遏制与朦胧PID遏制两种战略。对于典范PID遏制沿用简单形算法对PID参数举行了优化，功效杰出。并将朦胧PID遏制与典范PID遏制的功效举行了比拟和领会。