舆论摘要：物理气相堆积地膜接洽

在正文中重要计划了两种用处的物理气相堆积膜层的制备和运用接洽。(1)运用磁过滤负极电弧堆积办法制备TiN，TiAlN，纳米多层膜，以及运用拙劣MEVVA离子源本领对由磁过滤负极真空弧堆积的TiN，TiAlN硬质膜举行了多种离子注入，运用百般办法来尝试接洽地膜本能。非金属挥发真空弧（MEVVA）非金属源离子注入本领是上世纪80岁月兴盛起来的一项新式的资料外表处置本领，而磁过滤负极电弧地膜堆积（FCVAD）方规则具备堆积亚原子离化率高，能过滤掉大颗粒，不妨产生渺小和精致的构造的便宜。本文华用多种靶材制备各别因素和构造的膜层，并沿用多种离子注入来革新膜层本能。运用场放射扫描电子显微镜，纳米硬度计，X射线衍射仪来尝试膜层构造和本能，表明FCVAD和MEVVA两者的贯串不妨灵验的普及资料外表的硬度和耐磨性。(2)在镁合金压铸件上喷涂UV底漆，在其上运用物理气相堆积本领制备非金属膜层，到达高光功效，并在膜层外表掩盖PU面漆普及耐磨性；运用DOE本领矫正地膜制备工艺，做到较为理念的消费状况。镁合金具备多种崇高个性，特殊实用于创造3C产物的外壳，然而因为压铸后外表缺点多，必需过程处置后本领运用于高端产物的创造。正文归纳考查并领会了多种在镁合金压铸件上制备非金属膜层的本领，并最后决定运用多弧铬靶和磁控溅射不锈钢柱靶在高光UV底漆上堆积非金属膜层，并在膜层外表运用PU面漆来巩固耐磨，耐侵蚀本能。在后续考查中又对工艺参数举行了典型安排，最后到达了制造过程的宁静。在镁合金外表制备彩色膜层的开拓案中，作了洪量的考查处事，对镁合金外表反馈膜层的制备顺序有了较为深刻的看法。