舆论摘要：洪量程袖珍压阻式压差传感器的研制

导弹伺服体例用压差传感器要符合遨游进程及蕴藏进程中的高温（低温）、强振荡、强报复的情况诉求，同声也要具备袖珍化、真实性高、精度高档特性。在查看洪量材料后，比较了百般各别处事道理的压差传感器的优缺陷，觉得硅压阻式压差传感器具备精巧度高、动静相应快、丈量精度高、宁静性好、处事温度范畴宽、容易袖珍化和批量消费，运用简单等特性，满意伺服体例运用需要。舆论对硅压阻式压差传感器的总体计划举行了安排，实行了敏锐芯片的安排和传感器板滞构造安排，在领会了硅压阻敏锐芯片的本能后，决定了对硅压阻敏锐芯片供电计划、硅压阻敏锐芯片与壳体的焊接本领及压差传感器的夸大、积累通路安排计划。商量到传感器体积很小，所以在安排时，开始是对油路举行变革，经过在焊接体上打孔的本领，将笔直油路改为横向油路，减小了压差传感器的莫大；同声，沿用贴片电阻包办非金属膜电阻，使通路板空间运用率增大，也减小了压差传感器的莫大。传感器诉求丈量压力范畴是25MPa，所以在安排时，沿用电子束焊的本领将敏锐芯片与焊接体焊接在一道。为了满意压差传感器高精度、宽温阈的诉求，在安排时沿用热敏电阻举行温度积累，使压差传感器满意运用诉求。过程洪量考查数据的论据，表明安排的硅压阻式压差传感器到达了预期的安排诉求，其线性度≤0.35％F.S，丈量范畴为±25MPa，不妨在-40℃～125℃下宁静真实的处事，满意伺服体例运用，其本能在同类袖珍化压差传感器中居于超过位置。经过研制，消费了一套带温度积累的洪量程袖珍硅压阻式压差传感器，该压差传感器满意导弹伺服体例诉求的袖珍化、宁静性高档诉求，不妨透彻丈量伺服作动器两腔压差、伺服阀进口压力，并介入动压反应，不妨满意导弹伺服体例运用需要。