论文摘要：微米光栅加速度计制作与检测技术研究

忽米光栅加速率计是一种新式的MOEMS（Micro-Optic-Electromechanical System，微光学机械和电子）加速率计，集成了MEMS和微光学本领的便宜，具备袖珍化、低功耗、低本钱和高辨别率的特性，在陆地基地核爆裂监测、重力梯度丈量、地动监测和矿产勘测等范围具备要害运用价格。舆论对忽米光栅加速率计的创造与检验和测定本领举行了深刻地接洽，对波及的表面模子、创造工艺、旗号检验和测定本领等上面举行了精细阐明与计划领会，并实行了该本领在忽米光栅加速率计试验原型机中的运用，在体例精巧度普及和噪声控制上面赢得理念的试验考证功效。舆论重要发展以次接洽： 一、忽米光栅加速率计的表面领会。运用标量衍射表面，领会了忽米光栅加速率计敏锐头传感道理，创造了加速率计敏锐头的表面模子，仿真领会了重心品质块位移、光栅周期以及光栅占空比对敏锐头传感光学个性的感化。运用典范力学本领对忽米光栅加速率计敏锐头创造了力学模子，领会了其力学体例个性。运用典范电磁学表面创造了敏锐头静电遏制模子，计划了创造闭环遏制的道路。为后续忽米光栅加速率计敏锐头的创造、旗号检验和测定本领的实行及其在忽米光栅加速率计原型机中的运用奠定了表面普通。 二、忽米光栅加速率计敏锐头创造本领接洽。鉴于现有工艺普通以及高精巧度、高辨别率的安排商量，提出了鉴于非金属维持梁构造的忽米光栅加速率计敏锐头安排计划。按照敏锐头力学模子，安排了敏锐头维持梁构造、压膜阻尼等参数，决定了敏锐头完全构造款式，按照安排截止获得敏锐头构造尺寸。鉴于现阶段工艺程度，按照敏锐头创造工艺，安排了敏锐头创造工艺过程，最后经过流片获得了敏锐头芯片，拟订了封装计划，实行了敏锐头芯片的封装。 三、忽米光栅加速率计差分检验和测定本领接洽。为了普及开环忽米光栅加速率计体例的检验和测定精巧度，贬低体例噪声，对准无启动的忽米光栅加速率计敏锐头检验和测定体例，舆论举行了双级次衍射光旗号差分检验和测定本领的接洽，研制了双级次差分检验和测定通路；鉴于双级次差分道理，对准静电启动的忽米光栅加速率计敏锐头检验和测定体例，举行了三级次衍射光旗号差分检验和测定本领的领会与接洽，安排了三级次衍射光差分检验和测定模子，创造了检验和测定通路。在此普通上，为进一步控制莱塞强度噪声，计划了鉴于参考探测道理的衍射光旗号差分检验和测定本领的实行本领，领会了参考探测道理控制广播段噪声的机理。 四、忽米光栅加速率计道理原型机研制和关系试验考证。舆论对忽米光栅加速率计道理原型机举行了光路领会。安排并搭建了忽米光栅加速率计双级次差分检验和测定原型机，考证了双级次衍射光旗号差分检验和测定本领对精巧度的普及，以及输入旗号信噪比的革新。安排并创造了忽米光栅加速率计参考探测差分检验和测定原型机，囊括体例光路领会与建立，各重要元件的坚韧组织安排等。对三级次差分检验和测定截止举行了领会并同双级次差分检验和测定原型机所用本领举行了比拟。同声运用参考探测差分检验和测定道理原型机举行了参考探测差分检验和测定本领的考证。实行了参考探测差分检验和测定通路，对其输入噪声举行了领会。