论文摘要：硅谐振压力微传感器漂移个性的领会接洽

本舆论重要接洽一种硅谐振梁式压力传感器的漂移个性。海内，纵然硅谐振式压力微传感器仍旧研制胜利，然而还处在试验室阶段，没有被本质运用。主假如由于海内的微板滞加工工艺程度、本领体味和摆设都各别水平生存某些题目，形成硅谐振式压力微传感器Q值还不高，个性的温度漂移、零漂也还比拟鲜明，还很难对传感器的归纳精度举行评价。 所以，本课题将中心接洽：对海内现有工艺程度创造的硅谐振式压力微传感器的输入个性，更加是比拟超过的温漂、零漂题目举行洪量深刻的接洽，从表面、机理、试验、数据领会、模子及本能积累上面举行领会接洽，普及传感器精度并提出有益的倡导。 正文从表面上领会了硅谐振式压力微传感器爆发零漂、温漂的因为，并经过试验，查看到了零漂、温漂局面，也考证了表面领会的精确性。零漂主假如因传感器的低Q值形成的，在课题功夫，传感器的创造工艺获得矫正，灵验处置了零漂的题目，以是在本课题中，中心接洽传感器的温漂个性及温度积累本领。 对准搜集到的数据生存温漂的题目，按照数据的特性试验了用BP神经搜集、回归算法、插值算法举行建立模型，用MATLAB仿真，并比拟仿真截止，得出了最好的积累算法，普及了传感器的精度。结果用VC＋＋实行了之上各个算法并创造用户界面集成之上算法。